以下以矩形同軸橢球面為例，口徑200mmx110mm R=280mm

通過加工后有效口徑內(nèi) Luphoscan 檢測精度PV=0.145 λ , PV 99 =0.091 λ ,RMS=0.016 λ，粗糙度達到Rq=0.35nm。